产品特点
全自动工具测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力,和影像测量仪的X、Y. Z轴表面尺寸测量功能,具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、 LCD、 手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。
技术规格
①:固定式E通三目头
②:高眼点大视野平场目镜
③:落射照明器
④:反射用干涉绿色片组
⑤: 500W像素高分辨率彩色相机
产品图展示
① |
② |
③ |
④ |
⑤ |
⑥ |
技术参数
光学系统 | 无限远光学系统 |
观察头 | 30°倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节:50-76mm，两档分光比100/0或0/100 |
5°~35°倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50-76mm，两档分光比：100/0或0/100 | |
30倾斜，倒像，无限远较链三通观察简 .瞳距调节:0-7mm.两档分光比: 100/0或50/50 | |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL0X22mm，可带测微尺 |
高眼点大视野平场目镜PL10X22mm。视度可调，可带测微尺 | |
转换器 | 内定位5孔转换器 |
内定位明暗场5孔转换器 | |
物镜 | 无限远长工作距平场消色差金相DIC物镜( 5X、10X ) |
无限远超长工作距平场半复消金相DIC物镜( 20X ) | |
无限远长工作距平场消色差金相物镜( 50X、100X ) | |
无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜(5x.10X) | |
无限远超长工作距平场明暗场半复消金相DIC物镜( 20X ) | |
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜( 50X、100X ) | |
放大倍率 | 光学放大倍率: 50X- 1000X |
系统放大倍率: 135X-2700X | |
平台精度 | 电动测量平台(行程300mm(Xx200)mm，带数显器，带电动调焦控制盒;样品高度150mm ; 测量精度，X和Y: ( 2+L/200) μm, L为测量长度(单位mm) Z(选配): (5+L/200) μm |
照明系统 | 明暗场反射照明器，带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽，带5WLED灯源，亮度可调(含托架适配器) |
辅助对焦模块，带对焦分划板两档，带绿光5WLED灯源组(含100V-240V宽电压, 5WLED控制器) | |
调焦方式 | 电动手轮控制调节，调焦距离175mm |
相机 | 像素500万or130W可选；2592(H)x 1944(V)or1280(H)*960(H)；帧率: 30fps；接口: USB2.0； 图像传感器：CMOS(彩色) |
摄影摄像接口 | 1XCTV. C型接口、可调焦 |
0.65XCTV、C型接口、可调焦 | |
0.5XCTV、C型接口、可调焦 | |
PC | DELL OptiPlex3050MT+DELL液晶显示器+正版Win10系统 |
软件 | 精密测量软件 |
其他附件 | 起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板；反射用干涉滤色片组；高精度测微尺；DIC组件；标定片 |
核心优势
卓越的光学技术呈现出色成像
100倍 IC电路 明场 50倍 IC电路 暗场
20倍 IC电路 偏光 10倍 FPD导电粒子 DIC | 具备专业、先进的技术,是研发首要条件。 Tm自动工具测量显微镜采用优异的无限远 光学系统搭配半复消色差物镜,提高了成像 衬度和清晰度,用户可以得到鲜明、清晰的 高对比度图像。只需简单操作即可实现明 暗场,偏光,微分干涉等多种成像方式。 |
专业无限远长.工作距金相物镜镜头可以 达到高透过率与高清晰度,真实还原样 品的自然色彩。除了明场观察,还能胜 任暗场、偏光和微分干涉观察。 |  |
 | 5X、10X、 20X、 50X、 100X等不同倍率 的物镜，配合燕尾式转换器,拆装方便，既可 实现大视野、大工作距测量,又可以实现高倍 高精度测量。 无论是测量大型部件还是精细元件,或是表面 高度差异大的样品, TM自动工具测量显微镜 都可以应对并协助用户选择Z 佳的观察方法。 |
人体工学设计实现舒适操作性 任何的研究,都需要人亲自实践。 人体的舒适度在很大程度上主导了工作的进展、效率、完成度。 Tm自动工具测量显微镜努力让工具尽量适合人体的自然形态,这样在使用工具的过程中, 人的身体无需主动适应,从而减少使用工具造成的疲劳。 | |
 | 仰角可调观察筒使操作变得舒适而简单 这款观察筒倾斜角在5 °至35°之间可 调。无论是站立或坐着,都能Z 大限度满 足用户的操作需求,同时也无需担忧用户 的身高差异。 |
 | Z轴自动升降配合电动鼻轮一键切换 搭配0.1um高精度光栅尺,实时反馈 给操作者真实的位置信息实现精准定位。 三轴均为电动移动操作,使得平台移动方 式变为电动控制。更加精准,容易控制， 避免反复工作。配合电动鼻轮实现一键切 换倍率,避免操作者与镜头等光学部分的 直接接触。 |
精密的测量工具保证结果的准确性 测量的意义在于还原样品的真实数据。 测量工具的严谨恰好体现了品牌的品质。随着现代制造技术日益小型化和精密化,高精度测量也日趋重要。 TM自动工具测量显微镜采用0.1μ m读数的3轴测量系统,利用X、Y轴高精度光栅尺可进行水平方向测量, 电动Z轴调焦可操作性强,降低疲劳。 | |
 | 多功能的落射照明器 采用LED灯源，更耐用。色 温可选,满足不同的场景需 求。可进行简易偏光、暗场 以及滤色后的观察。 |
运动控制实现自动化 | |
 | 自动移动平台 平台移动可通过软件控 制,可实现平台移动全 自动化 |
自动物镜转换器 通过软件控制物镜转换器， 自动切换物镜 |  |
应用案例
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★IC先进封装bumping尺寸测量 | ★PCB板焊脚测量 | ★IC先进封装bumping对位精度测量 | ★液晶面板TFT测量 |
