产品特点
产品特点: 1、NS-503RT可以实现X、Y方向105mm/158mm的移动范围。 2、全新设计的长工作距专业金相物镜,高倍物镜采用半复消技术。 3、各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。 4、附件齐全,配置完善,可灵活进行系统组合与功能拓展。 5、人机工程学设计、坚实可靠的系统结构。 |
技术参数
可选择的观察方法 | 明场/斜照明/偏振光/DIC | 明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |
目镜 | PL10X/22平场高眼点目镜 | |
物镜 | LMPL无限远长工作距金相物镜 | |
观察筒 | 30°铰链式三目,分光比,双目:三目=100: 0或50:50 | |
转换器 | 5孔内倾式转换器,带DIC插槽 | |
载物台 | 4"双层机械移动平台,行程105x 105mm;带金属平板平台,右手位X、Y移动手轮,配平台接口 | 4"双层机械移动平台,行程105x 105mm;带玻璃平台,右手位X、Y移动手轮,配平台接口 |
显微镜镜体 | 粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出 | 粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,双路电源输出 |
反射照明器系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆。单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调 | |
透射照明系统 | / | 单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调。N..A.0.5聚光镜,带可变孔径光阑 |
系统介绍
大行程移动平台设计 ◆NS-503RT机型采用4'/6'平台设计, 可适用于相应尺寸的晶圆或FPD检测, 也可用于小尺寸样品的阵列检测。 ◆NS-503RT: 4英寸平台,移动范围: 105mmX 105mmNS-503RT:6英寸平台,反射照明移动范围: 158mmX158mm,透射照明移动范围100mmX100mm; 带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动。 ◆通过使用平台适配接口,所有平台可在NS-503RT机型 之间通用。 | 超长工作距金相物镜 ◆全新设计的超长工作距物镜,采用半复消色差技术, 并使用多层宽带镀膜技术,使整个视场内的成像清晰锐利, 色彩自然,明亮舒适。 ◆超长的工作距离设计,50X的有效工作距离达到7.8mm, 100X物镜也达到了2.1mm, 大幅拓展了NS-503RT机型的应用领域, 5X、10X、20X物镜的设计,通过精选材料及优化设计, 使DIC微分干涉观察的性能非常出色。 ◆同步设计了全套明暗场两用物镜,适用于NS-503RT机型, 暗场照明亮度比传统暗场物镜提高2倍以上。 |
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高性能物镜转换器 ◆NS-503RT机型的转换器采用精密轴承设计,转动手感 轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得 到较好的控制,根据NS-503RT机型配置及功能的不同, 可以选择不同型号的转换器。 ◆PI103C5型: 5孔明场转换器,用于NS-503RT机型 ◆PI103C5I型: 5孔明场转换器,带DIC棱镜插槽, 用于NS-503RT机型。 ◆PI103C5BD型: 5孔明暗场转换器,用于NS-503RT机型 ◆PI103C5BD|型: 5孔明暗场转换器,带DIC棱镜插槽, 用于NS-503RT机型。 | 宽视场铰链式三目观察筒 ◆MXETH25R型正像铰链三目观察筒, 所成像的方位与物体实际方位一致, 物体移动的方向跟像面移动的方向相同, 便于观察与操作,适用于6英寸移动平台配合使用。 ◆MX4RTH30R型铰链三目观察筒, 适用于4英寸平台配合使用。 ◆两种类型的观察筒可以在NS-503RT机型内通用。 |
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安全、稳重的机架结构设计 ◆工业检测级显微镜体,低重心、高刚性、高稳.定性金属 机架,极大的提高的系统的抗振能力与成像的稳定性。 ◆前置低手位粗微同轴调焦机构,内置90-240V宽电压变压器,可以适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。 | 不同的照明器可供选择 ◆明场反射照明器:单颗大功率5W白色LED照明, 带斜照明机构,适用于NS-503RT机型。 ◆明场反射照明器: 12V100W卤素灯照明,带斜照明机构、 适用于NS-503RT机型。 明暗场反射照明器: 12V100W卤素灯照明, 并带有光强预设功能,可快速切换到预设亮度。 带明暗场切换机构、适用于NS-503RT机型。 ◆透射照明: NS-503RT均可使用透反两用机型。 透射光源为单颗大功率 5W白色LED,并带有N.A.0.5聚光镜。 透射照明与反射照明可独立控制, 即透反照明可同时开启,亦可单独开启。 |
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明场观察(反射) 远心柯拉反射照明系统,配以全新设计的无限远平场消色差 长工作距金相物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、 明亮的高画质显微图像。 | 明场观察(透射) 5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光镜,可以透照明下, 观察LCD彩色液晶显示屏,器件框架边缘等。 透射照明与反射照明为独立控制,即可同时亮,也可单独亮。 |
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斜照明 使用斜照明,可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案, 增加观察的对比度与视觉效果。斜照明功能只限于NS-503RT机型。 | 暗场观察 将暗场照明拉杆拉到指定位置,即可使用暗场功能, 可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷, 暗场功能只限于NS-503RT机型。 |
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简易偏光观察 将起偏镜及检偏镜插板插入照明器的指定位置,即可进行 简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种 | DIC微分干涉观察 在正交偏光的基础上,插入DIC棱镜, 即可进行DIC微分干涉相衬观察。 使用DIC技术,可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。 5X、10X、 20X专为DIC设计,使得整个视场的干涉色一致, 微分干涉效果非常出色,高倍物镜DIC效果也较好。 |
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