产品特点
产品特点： 拥有数十年高端光学显微镜代工制造经验，掌握高端光学物镜、照明系统、对焦 系统、成像系统以及相关超精密机械零部件的全产业链零部件的设计和加工能 力，为代替进口高端光学显微镜而生 MX63 符合人体工学设计的模块化光机系统以及高性能光学模块，搭载采用 12 寸大型载物 台，适用于检测液晶显示面板、晶圆、印刷电路板等大尺寸产品 |  |
技术参数
光学系统 | UIS2 无限远校正光学系统 | |
显微镜机架*1 | MX63 正置机身采用优质航空铝合金一次成型技术全金属流线型机身，90~230V 宽 电压电源适配器，整机具备 USB 控制输出，物镜电动切换按键面板，长悬臂可支 持 12 寸晶圆载物台 | |
目镜:WHN10X*2 | 超大视野目镜 EW10X/22 | |
明暗场无限远半复 消色差物镜*6 | 奥林巴斯MPLFLN 2.5X/NA0.08/分辨率 4.19 | WD 10.7mm |
MPLFLN 5XBD /NA0.15/分辨率 2.24um | WD 12.0mm | |
MPLFLN 10XBD /NA0.3/分辨率 1.12um | WD 6.5mm | |
MPLFLN 20XBD /NA0.45/分辨率 0.75um | WD 3.0mm | |
MPLFLN 50XBD /NA0.80/分辨率 0.42um | WD 3.0mm | |
LMPLFLN 100XBD /NA0.80/分辨率 0.42um | WD 3.3mm | |
光学放大倍率 | 25X,50,100X,200X,500X,1000X | |
观察头 :U-TTR*1 | 超宽视野倾斜角度可调，铰链式正像三目观察头，瞳距 50-76mm | |
观察方式 | 明场，暗场 | |
反射照明系 统:BX3M-RLA-S*1 光源： BX3M-LEDR*1 | 24V/10W 用于反射长寿命 LED 光源,亮度可调 寿命不低于 60000 小时 | |
柯勒照明系统，非球面集光器 | ||
起偏镜、360 度旋转检偏镜偏振装置（选配） | ||
起偏、检偏防尘滑块 | ||
对焦系统*1 | 电动 Z 轴调焦，行程32mm,含控制盒按键控制和程序，精度达 2μm； | |
电动转换器*1 | 电动内向式同心六孔明暗场转换器，含控制器手柄和程序 | |
载物台*1 | 12 寸载物台配晶圆转台，右手低位双层机械载物台，耐磨陶瓷涂层台面，带玻璃 窗，采用合金钢丝传动结构，无齿条外露，移动行程满足 4~12 寸晶圆全面覆盖； 预设钢丝手感张力，手感舒适定位准确，无卡顿，无回弹，低位手轮操作时手部 可不离开桌面，不易疲劳，支持快动及刹车。 | |
摄像头:NMC1200*1 | 科研级显微镜相机，具备操作简单、高帧率快速成像、宽动态范围、超低噪声、 高灰阶宽色域等特长，采用 SONY 传感器，1200 万像素，曝光控制：手动 /自动，RGB/对比度等独立可调，数据传输：USB3.0，工作温度：0～30℃ 内置自动对焦系统，针对不同位置高低自动对焦，对焦范围： 5X：6.4MM，10X：1.6MM，20X：0.4MM，50X：0.064MM。100X：0.016MM | |
适配 器:U-TV0.63X*1 | 摄影适配器，标准 C 型接口 0.63X，选配：0.5X | |
软件：OPLENIC2.0*1 | 专业图像分析软件，包含二维尺寸测量，比例标尺、文字注释、图像锐 化和降噪，测量报告输出，白平衡，自动/手动曝光，图像参数等调节 | |
